发明授权
- 专利标题: 一种全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法
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申请号: CN201910091054.6申请日: 2019-01-30
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公开(公告)号: CN109841703B公开(公告)日: 2021-06-11
- 发明人: 赵传熙 , 麦文杰 , 岑国标
- 申请人: 暨南大学
- 申请人地址: 广东省广州市天河区黄埔大道西601号
- 专利权人: 暨南大学
- 当前专利权人: 暨南大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区黄埔大道西601号
- 代理机构: 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理商 雷月华
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0216
摘要:
本发明公开了一种全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法。所述倒置结构光电探测器包括透明导电正电极、超薄氧化铝层、全无机钙钛矿光吸收层、电子传输层、金属负电极。所述制备方法是采用ALD沉积超薄氧化铝薄膜和氧化钛薄膜,制得器件暗电流低、稳定性高,器件暴露空气超过100天仍然表现出良好的光电性能。在钙钛矿与金属电极界面引入超薄氧化钛薄膜,实现界面能带匹配,提高器件了响应速度和灵敏度。本发明制备方法适用于柔性探测器制作,为实现无机钙钛矿光电探测器及其柔性器件产业化,提供一种有效、可行、低成本的方案。
公开/授权文献
- CN109841703A 一种高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2019-06-04
IPC分类: