发明授权
- 专利标题: 冷却板和真空蒸镀装置
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申请号: CN201910207412.5申请日: 2019-03-19
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公开(公告)号: CN109868452B公开(公告)日: 2021-01-01
- 发明人: 沐俊应
- 申请人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 专利权人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 代理机构: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 黄威
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/04 ; C23C14/14
摘要:
本发明提供一种真空蒸镀装置和全面屏显示面板,其真空蒸镀装置包括真空蒸镀室、蒸镀源、掩膜版、以及冷却板,其中冷却板包括第一区域和第二区域,第一区域对应于全面屏显示面板的屏下装置区,第二区域对应于全面屏显示面板的非屏下装置区,冷却板区域内设置有凸起物,凸起物在第一区域内的设置方式和第二区域内的设置方式不同。通过在第一区域内减设冷却凸起物,或者在第一区域内加设加热凸起物,以使得在进行金属层蒸镀时,全面屏显示面板屏下装置区的温度高于全面屏显示面板非屏下装置区的温度,从而起到减薄屏下装置区内公共电极的作用,满足了屏下装置区的透光需求,解决了现有蒸镀技术不能满足屏下装置区公共电极厚度设置需求的问题。
公开/授权文献
- CN109868452A 冷却板和真空蒸镀装置 公开/授权日:2019-06-11
IPC分类: