本公开提供一种毫米波/太赫兹波安检仪及其反射板扫描驱动装置，反射板扫描驱动装置包括反射板，反射板的周向外缘间隔设有至少一个软磁体；支撑杆，其与反射板铰接，并适用于支承反射板；至少一个电磁致动器，其与至少一个软磁体的位置呈一一对应关系，每个电磁致动器包括至少一个致动单元，致动单元包括至少两个电磁体，至少两个电磁体在垂直于反射板的平面内彼此间隔设置，通过改变至少两个电磁体的绕组的电流，以改变对软磁体的吸引力，进而带动反射板在两个电磁体之间摆动。通过控制两个电磁体的绕组的电流即可控制反射板的运动，以使得采用该反射板扫描驱动装置的毫米波/太赫兹波安检仪可以灵活地调节扫描区域的形状和大小。