发明公开
- 专利标题: 激光结晶设备
- 专利标题(英): LASER CRYSTALLIZING APPARATUS
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申请号: CN201811465281.2申请日: 2018-12-03
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公开(公告)号: CN109872942A公开(公告)日: 2019-06-11
- 发明人: 三宫晓史 , 韩圭完 , 柳济吉 , 李京在
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 张敏; 程月
- 优先权: 10-2017-0166165 2017.12.05 KR
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02
摘要:
提供一种激光结晶设备。所述激光结晶设备包括:第一光源单元,被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第一输入光;第二光源单元,被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第二输入光;偏振光学系统,被构造为使第一输入光和/或第二输入光以预定旋转角度旋转;光学系统,被构造为将穿过偏振光学系统的第一输入光和第二输入光转换为输出光;台,目标基底置于台上,并且输出光被引导到目标基底上;以及监测单元,被构造为从偏振光学系统接收第一输入光或第二输入光,并且测量第一输入光或第二输入光的激光束质量。
公开/授权文献
- CN109872942B 激光结晶设备 公开/授权日:2024-04-05
IPC分类: