低V型缺陷密度的GaN基多量子阱激光器外延片及制备方法
摘要:
低V型缺陷密度的GaN基多量子阱激光器外延片及制备方法,制备方法包括:对衬底(10)进行退火及表面清洁,并在衬底(10)上依次外延生长n型GaN层(11)、n型AlGaN限制层(12)、非故意掺杂下波导层(13)、InGaN/GaN多量子阱发光层(14)、p型AlGaN电子阻挡层(15)、非故意掺杂上波导层(16)、p型AlGaN限制层(17)和p型欧姆接触层(18),其中,InGaN/GaN多量子阱发光层(14)包括InGaN阱层和GaN垒层,生长GaN垒层时通入TMIn源,以抑制GaN垒层中V型缺陷的形成,消除InGaN/GaN多量子阱中常见的V型缺陷,从而降低器件反向漏电、减少器件吸收损耗并提高量子阱热稳定性。
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