- 专利标题: 低V型缺陷密度的GaN基多量子阱激光器外延片及制备方法
-
申请号: CN201910116788.5申请日: 2019-02-14
-
公开(公告)号: CN109873299B公开(公告)日: 2020-02-21
- 发明人: 杨静 , 赵德刚 , 朱建军 , 陈平 , 刘宗顺 , 梁锋
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周天宇
- 主分类号: H01S5/343
- IPC分类号: H01S5/343
摘要:
低V型缺陷密度的GaN基多量子阱激光器外延片及制备方法,制备方法包括:对衬底(10)进行退火及表面清洁,并在衬底(10)上依次外延生长n型GaN层(11)、n型AlGaN限制层(12)、非故意掺杂下波导层(13)、InGaN/GaN多量子阱发光层(14)、p型AlGaN电子阻挡层(15)、非故意掺杂上波导层(16)、p型AlGaN限制层(17)和p型欧姆接触层(18),其中,InGaN/GaN多量子阱发光层(14)包括InGaN阱层和GaN垒层,生长GaN垒层时通入TMIn源,以抑制GaN垒层中V型缺陷的形成,消除InGaN/GaN多量子阱中常见的V型缺陷,从而降低器件反向漏电、减少器件吸收损耗并提高量子阱热稳定性。
公开/授权文献
- CN109873299A 低V型缺陷密度的GaN基多量子阱激光器外延片及制备方法 公开/授权日:2019-06-11