光传感半导体单元和光传感半导体阵列
摘要:
一种光传感半导体单元,包括:衬底;位于所述衬底之上的第一导电类型的第一掺杂区;位于所述第一掺杂区之上的第二导电类型的第二掺杂区;位于所述第二掺杂区之上的第一导电类型的第三掺杂区;及用于隔离所述第一掺杂区和所述第三掺杂区的隔离结构。形成两个耗尽区,打入到这两个耗尽区的光生载流子才能被内建电场扫出,形成光导电流效应。两个耗尽区的设计比传统二极管一个耗尽区设计在吸收光生载流子的效率上大幅度提高;其次在两个耗尽区之外实施特定偏置电压,能够把两个耗尽扩展区特定的最大化扩展,但不形成穿通效应,这样可以形成不同电压和光生载流子吸收效率数据信息,这能够提高光分辨灵敏度。
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