一种铸锭坩埚贴膜及其制备方法
摘要:
本发明属于晶体硅太阳能电池硅片制备技术领域,具体涉及一种新型铸锭坩埚贴膜及其制备方法,是在现有铸锭坩埚内壁表面粘贴薄膜取代现有坩埚内表面喷涂工艺。坩埚内壁薄膜类型可根据铸锭需要进行多种选择,坩埚侧壁可粘贴和硅晶格常数相比失配度大于50%的物质的薄膜,底部可粘贴和硅晶格失配度小于10%的物质的薄膜。薄膜最下面一层为含有硅胶成分的粘合剂,中间层为高纯的纤维织物,最上面一层可以是氮化硅、氧化锆、硅的氧化物等。薄膜的最上面一层物质可通过电泳、PEVCD等方法沉积在纤维织物表面,具有晶向一致性特性。新型铸锭坩埚薄膜通过精细化制备,可减少硅晶体缺陷,提高硅晶体整体品质,从而增加硅锭整体的经济效益。
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