发明公开
CN1099188A 激励原子束源
无效 - 撤回
- 专利标题： 激励原子束源
- 专利标题（英）： Exciting atomic beam source
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申请号： CN94103083.0申请日： 1994-03-30
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公开(公告)号： CN1099188A公开(公告)日： 1995-02-22
- 发明人: 吉田善一 , 水口信一
- 申请人： 松下电器产业株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人： 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 上海专利商标事务所
- 代理商 汪瑜
- 优先权： 75490/93 1993.04.01 JP; 80495/93 1993.04.07 JP
- 主分类号： H01L21/22
- IPC分类号： H01L21/22 ; C30B31/20
摘要：
激励原子束源，通过设置半同轴空腔谐振器的放电室，沿该轴向加磁场的构件，被激气体导入口和沿径向引出激励原子的导出口。能沿轴向加磁场，封闭原子与离子，从而能沿径向优先引出呈电气中性的激励原子。本发明还通过在喷嘴与小孔之间产生形成磁路的微波等离子体，并只让等离子体中的高速中性及激励原子通过小孔，能获得超音速的激励原子束，用于向半导体的掺杂。
IPC分类:
