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    激励原子束源
    4.
    发明公开
    激励原子束源 无效

    公开(公告)号：CN1099188A

    公开(公告)日：1995-02-22

    申请号：CN94103083.0

    申请日：1994-03-30

    申请人： 松下电器产业株式会社

    发明人： 吉田善一 ,  水口信一

    IPC分类号： H01L21/22 ,  C30B31/20

    CPC分类号： H05H3/02

    摘要： 激励原子束源，通过设置半同轴空腔谐振器的放电室，沿该轴向加磁场的构件，被激气体导入口和沿径向引出激励原子的导出口。能沿轴向加磁场，封闭原子与离子，从而能沿径向优先引出呈电气中性的激励原子。本发明还通过在喷嘴与小孔之间产生形成磁路的微波等离子体，并只让等离子体中的高速中性及激励原子通过小孔，能获得超音速的激励原子束，用于向半导体的掺杂。

    激光蒸发装置
    5.
    发明公开
    激光蒸发装置 无效

    公开(公告)号：CN1092114A

    公开(公告)日：1994-09-14

    申请号：CN94102047.9

    申请日：1994-02-24

    申请人： 松下电器产业株式会社

    发明人： 吉田善一 ,  水口信一

    IPC分类号： C23C14/28

    摘要： 本发明的激光蒸发装置其目的在于使激光入射窗不模糊，并且高产量地在大面积基板上形成化合物薄膜。通过在连续流动的基板与真空槽所包围的圆筒旋转靶之间照射激光，能够使基板连续性地从大气压下送进来成膜，而且没有窗，激光可从缝中入射，可高速地产生化合物薄膜。

    微波等离子吹管
    8.
    发明授权
    微波等离子吹管 失效

    公开(公告)号：CN1057422C

    公开(公告)日：2000-10-11

    申请号：CN95118293.5

    申请日：1995-10-25

    申请人： 松下电器产业株式会社

    发明人： 川濑透 ,  长野义信 ,  木村忠司 ,  吉田善一 ,  水口信一

    IPC分类号： H05H1/30 ,  H05H1/46

    CPC分类号： H01J37/32229 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/3468 ,  H05H2001/3478

    摘要： 微波等离子吹管，包括：一具有抽真空装置的真空容器；一同轴波导，其包括一内导体、一外导体，该波导的第一端部分与微波供给装置连接，第二端部分与该空容器连接，由此将微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；一气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器，在该微波等离子吹管中，至少多个喷射轴中的两个在第二端部分中不与波导轴相交，且不在垂直于波导轴的平面中，在第二端部分附近，内导体与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。