发明公开
- 专利标题: 刻蚀液及刻蚀装置
- 专利标题(英): Etching solution and etching device
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申请号: CN201910332935.2申请日: 2019-04-24
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公开(公告)号: CN109930153A公开(公告)日: 2019-06-25
- 发明人: 赵芬利 , 秦文 , 张月红
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 黄威
- 主分类号: C23F1/18
- IPC分类号: C23F1/18 ; C23F1/02 ; C23F1/08
摘要:
本发明提供一种刻蚀液和刻蚀装置,该刻蚀液包括双氧水、调节剂、稳定剂、有机酸、抑制剂、消泡剂、醇类物质以及去离子水。该刻蚀装置包括存储部,用于存储所述刻蚀液;检测部,用于检测所述存储部中所述刻蚀液是否有气泡;发生部,用于在所述检测部检测到气泡时,发生超声波清除气泡,得到清除气泡后的刻蚀液;喷嘴,用于将所述清除气泡后的刻蚀液涂布在所述基板上,对所述基板进行刻蚀。上述方案中刻蚀液不包含氟,避免了对基板的腐蚀,提高了显示面板的良品率。
公开/授权文献
- CN109930153B 刻蚀液及刻蚀装置 公开/授权日:2021-01-01
IPC分类: