刻蚀液及刻蚀装置
摘要:
本发明提供一种刻蚀液和刻蚀装置,该刻蚀液包括双氧水、调节剂、稳定剂、有机酸、抑制剂、消泡剂、醇类物质以及去离子水。该刻蚀装置包括存储部,用于存储所述刻蚀液;检测部,用于检测所述存储部中所述刻蚀液是否有气泡;发生部,用于在所述检测部检测到气泡时,发生超声波清除气泡,得到清除气泡后的刻蚀液;喷嘴,用于将所述清除气泡后的刻蚀液涂布在所述基板上,对所述基板进行刻蚀。上述方案中刻蚀液不包含氟,避免了对基板的腐蚀,提高了显示面板的良品率。
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