发明公开
- 专利标题: 双面烧结卡具、压接式IGBT模块烧结方法及其制得的子模组
- 专利标题(英): Two-sided sintering fixture, crimping IGBT module sintering method and manufactured submodule
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申请号: CN201711462442.8申请日: 2017-12-28
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公开(公告)号: CN109979826A公开(公告)日: 2019-07-05
- 发明人: 王亮 , 武伟 , 林仲康 , 韩荣刚 , 石浩 , 田丽纷 , 唐新灵 , 李现兵 , 张朋 , 张喆
- 申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国网山东省电力公司电力科学研究院 , 国家电网公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号; ;
- 专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国网山东省电力公司电力科学研究院,国家电网公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国网山东省电力公司电力科学研究院,国家电网公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号; ;
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L29/739 ; H01L21/67 ; H01L23/367
摘要:
本发明提供了一种功率芯片双面烧结的压接式IGBT模组的制备方法,该方法包括:从下至上将下钼片、焊片、IGBT芯片、焊片和上钼片组装到烧结卡具中;组装限位销压制压片;用连续真空烧结炉烧结得单芯片烧结连接结构;从下至上依次组装的塑料框架、弹簧探针和烧结结构,得所述单芯片压接子模组。本发明提供的制备方法用连续式真空烧结炉,能够大规模烧结芯片,极大地缩短了工序时长,效率高,速度快;本发明中提供的烧结方法采用的烧结卡具与压片,解决了芯片与钼片烧结后的对中问题,并且可以确保烧结后结构的厚度差值可控制在8μm以下。
IPC分类: