- 专利标题: 高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法
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申请号: CN201910278966.4申请日: 2019-04-09
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公开(公告)号: CN110004415B公开(公告)日: 2021-03-12
- 发明人: 张明明 , 李勇峰 , 赵红远 , 吴婷婷 , 张亚奇 , 谢文龙 , 郭昊 , 苏建修
- 申请人: 河南科技学院
- 申请人地址: 河南省新乡市红旗区华兰大道东段河南科技学院机电学院
- 专利权人: 河南科技学院
- 当前专利权人: 河南科技学院
- 当前专利权人地址: 河南省新乡市红旗区华兰大道东段河南科技学院机电学院
- 代理机构: 沈阳优普达知识产权代理事务所
- 代理商 张志伟
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/18
摘要:
本发明涉及硬质防护涂层领域,具体为一种高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法。采用通用的弧光离子镀设备进行沉积,选用Ti靶和TiAl靶作为阴极靶材,该Ti/TiAlN多层涂层沉积于硬质合金基体表面;所述Ti/TiAlN多层涂层为层状结构,包括TiN过渡层、多个TiAlN子层和Ti子层,沉积于基体的第一层为TiN过渡层,第二层为TiAlN子层,之后为Ti子层,TiAlN子层和Ti子层相互交替叠加沉积,最外层为TiAlN子层。本发明Ti/TiAlN多层涂层具备高厚度、良好的膜基结合强度、高硬度、高韧性等特点,并具备良好的抗氧化性能。
公开/授权文献
- CN110004415A 高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法 公开/授权日:2019-07-12
IPC分类: