高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法
摘要:
本发明涉及硬质防护涂层领域,具体为一种高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法。采用通用的弧光离子镀设备进行沉积,选用Ti靶和TiAl靶作为阴极靶材,该Ti/TiAlN多层涂层沉积于硬质合金基体表面;所述Ti/TiAlN多层涂层为层状结构,包括TiN过渡层、多个TiAlN子层和Ti子层,沉积于基体的第一层为TiN过渡层,第二层为TiAlN子层,之后为Ti子层,TiAlN子层和Ti子层相互交替叠加沉积,最外层为TiAlN子层。本发明Ti/TiAlN多层涂层具备高厚度、良好的膜基结合强度、高硬度、高韧性等特点,并具备良好的抗氧化性能。
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