发明授权
- 专利标题： 具有浮动遮蔽环的工艺配件
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申请号： CN201780075172.7申请日： 2017-11-16
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公开(公告)号： CN110036136B公开(公告)日： 2022-05-24
- 发明人: 威廉·约翰森 , 修·克特·霍 , 约翰·马佐科 , 希兰库玛·萨万戴亚 , 帕拉沙特·帕布
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权： 201611039546 20161119 IN
- 国际申请： PCT/US2017/061979 2017.11.16
- 国际公布： WO2018/094024 EN 2018.05.24
- 进入国家日期： 2019-06-04
- 主分类号： C23C14/56
- IPC分类号： C23C14/56 ; C23C14/34 ; C23C14/50 ; H01J37/34
摘要：
本文中提供了工艺配件及并入所述工艺配件的工艺腔室的实施方式。在一些实施方式中，一种工艺配件包括：配接器，具有配接器主体及在所述配接器主体的径向内侧的屏蔽部；传热通道，形成于所述配接器主体中；遮蔽环，耦接到所述配接器，使得所述配接器的所述屏蔽部延伸于所述遮蔽环的一部分之上；及陶瓷绝缘体，设置在所述遮蔽环与所述配接器之间以将所述遮蔽环与所述配接器电隔离。
公开/授权文献
- CN110036136A 具有浮动遮蔽环的工艺配件 公开/授权日：2019-07-19
IPC分类:
