一种基于SOI工艺的RC耦合触发双向瞬态电压抑制器
摘要:
本发明公开一种基于SOI工艺的RC耦合触发双向瞬态电压抑制器,属于集成电路技术领域。本发明充分利用RC耦合电路和高掺杂注入区反向击穿电压低的原理降低触发电压,结合SCR结构的ESD鲁棒性强的优点,通过引入横向PNP型BJT,削弱了SCR的正反馈,提高维持电压,增强ESD鲁棒性。利用SOI层寄生参数小,功耗低,抗辐照等优势,进一步提高器件的性能。此外,通过设计器件结构实现全对称,器件可在正、反向ESD应力作用下,形成具有相同电学特性的SCR电流泄放路径,不仅可以减小ESD器件的芯片面积,还可以实现ESD脉冲的双向防护。
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