- 专利标题: 一种基于SOI工艺的RC耦合触发双向瞬态电压抑制器
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申请号: CN201910290550.4申请日: 2019-04-11
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公开(公告)号: CN110047828B公开(公告)日: 2021-03-30
- 发明人: 马艺珂 , 刘湖云 , 周昕杰 , 梁海莲
- 申请人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 申请人地址: 江苏省无锡市滨湖区惠河路5号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市滨湖区惠河路5号
- 代理机构: 无锡派尔特知识产权代理事务所
- 代理商 杨立秋
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02
摘要:
本发明公开一种基于SOI工艺的RC耦合触发双向瞬态电压抑制器,属于集成电路技术领域。本发明充分利用RC耦合电路和高掺杂注入区反向击穿电压低的原理降低触发电压,结合SCR结构的ESD鲁棒性强的优点,通过引入横向PNP型BJT,削弱了SCR的正反馈,提高维持电压,增强ESD鲁棒性。利用SOI层寄生参数小,功耗低,抗辐照等优势,进一步提高器件的性能。此外,通过设计器件结构实现全对称,器件可在正、反向ESD应力作用下,形成具有相同电学特性的SCR电流泄放路径,不仅可以减小ESD器件的芯片面积,还可以实现ESD脉冲的双向防护。
公开/授权文献
- CN110047828A 一种基于SOI工艺的RC耦合触发双向瞬态电压抑制器 公开/授权日:2019-07-23
IPC分类: