一种双氧化层RRAM及其制备方法
摘要:
本发明属于电子器件技术领域,具体保护基于金属氧化物的双氧化物层RRAM及其制备方法。双氧化物层RRAM包括由上至下层叠设置的顶电极层,阻变氧化层和基底;所述阻变氧化层为由上至下层叠设置的In2O3和Al2O3双层金属氧化层;所述顶电极层包括若干阵列在阻变氧化层上的顶电极,所述顶电极在远离阻变氧化层的表面设有保护层;所述基底包括底电极层和绝缘层。本发明对两层金属氧化层均采用溶液法工艺制备,实现低成本RRAM的制备,相较于单层金属氧化层的RRAM器件,阻变特性更好,且设备和原料投资较少,可实现大规模工业应用。
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