本发明涉及用于复制制造掠入射反射镜片的亚纳米级芯轴及制造工艺，该芯轴由镜片复制段和其两端面的夹头段组成，芯轴上设有盲孔，该盲孔沿芯轴轴线贯穿小端夹头段和镜片复制段，所述芯轴一端夹头段沿芯轴轴线平行的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口，另一端夹头段沿与芯轴轴线垂直的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口。制造工艺包括：根据芯轴双夹头接口及内部结构进行芯轴的粗加工，然后进行高低温处理，其后精密车削，然后超精密车削，然后在芯轴表面镀镍磷合金，然后再次进行超精密车削，然后进行磁流变修形抛光以及手动保形抛光，完成掠入射亚纳米级芯轴的加工。本发明保证了芯轴的亚纳米级表面精度并可提高后续反射镜片脱模的成功率。