- 专利标题: 一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法
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申请号: CN201910529654.6申请日: 2019-06-19
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公开(公告)号: CN110132993B公开(公告)日: 2022-04-01
- 发明人: 刘红婕 , 王方 , 朱启华 , 郑天然 , 周丽丹 , 胡东霞 , 袁强 , 袁晓东
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构: 绵阳市博图知识产权代理事务所
- 代理商 杨晖琼
- 主分类号: G01N21/896
- IPC分类号: G01N21/896 ; G01N21/89
摘要:
本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置,属于光学膜技术领域,包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元,所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块,所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜,所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块,所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机,所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机,本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息,可以判断较小尺寸的节瘤缺陷;特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。
公开/授权文献
- CN110132993A 一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法 公开/授权日:2019-08-16