一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法

    公开(公告)号:CN110132993A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910529654.6

    申请日:2019-06-19

    IPC分类号: G01N21/896 G01N21/89

    摘要: 本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置,属于光学膜技术领域,包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元,所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块,所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜,所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块,所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机,所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机,本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息,可以判断较小尺寸的节瘤缺陷;特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。

    一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法

    公开(公告)号:CN110132993B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN201910529654.6

    申请日:2019-06-19

    IPC分类号: G01N21/896 G01N21/89

    摘要: 本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置,属于光学膜技术领域,包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元,所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块,所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜,所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块,所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机,所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机,本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息,可以判断较小尺寸的节瘤缺陷;特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。

    一种提高激光系统杂散光吸收能量密度的装置及方法

    公开(公告)号:CN108196325A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810192861.2

    申请日:2018-03-09

    IPC分类号: G02B5/00

    摘要: 本发明涉及一种提高激光系统杂散光吸收能量密度的装置及方法,属于高功率激光技术领域,包括基座、透明熔石英玻璃吸收片和黑色中性玻璃吸收片,所述透明熔石英玻璃吸收片和黑色中性玻璃吸收片均呈倾斜式设于基座内部,且两者均设有多个,本发明将透明熔石英玻璃吸收片与黑色中性玻璃吸收片相结合,在保证杂散光强度透射率低于杂散光强度的10%的前提下,优化出杂散光入射至透明熔石英玻璃吸收片的入射角,同时,优化透明熔石英玻璃吸收片的安装角度,促使杂散光在相邻的透明熔石英玻璃吸收片之间反射3次以上,实现杂散光分级多次吸收,提高激光系统杂散光吸收能量密度至50J/cm2以上。