发明授权
- 专利标题: 一种用于制备纳米材料的气相反应炉
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申请号: CN201910519665.6申请日: 2019-06-17
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公开(公告)号: CN110144568B公开(公告)日: 2024-02-27
- 发明人: 阮诗伦 , 李朝阳 , 张留新 , 樊利芳 , 孙秀洁 , 王新宇
- 申请人: 郑州大工高新科技有限公司 , 大连理工大学
- 申请人地址: 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号
- 专利权人: 郑州大工高新科技有限公司,大连理工大学
- 当前专利权人: 郑州大工高新科技有限公司,大连理工大学
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号
- 代理机构: 郑州浩德知识产权代理事务所
- 代理商 江兰
- 主分类号: C23C16/44
- IPC分类号: C23C16/44 ; C23C16/455 ; C23C16/26 ; B82Y40/00
摘要:
本发明提出了一种用于制备纳米材料的气相反应炉,包括:炉体,炉体安装在炉体支架上,其特征在于:还包括供气系统、升降系统,供气系统设置在炉体的外侧并通过气管与炉体连通,炉体内设有上部导热板、导流均热板、炉腔、两个混气腔,炉体下部设有开口,上部导热板和两个导流均热板包裹在炉腔外部,混气腔位于导流均热板的外侧;在炉体下方还设有升降系统,升降系统上部设有升降台、炉门、下部导热板,炉门与炉体下部开口采用气密性结构密封。其有益效果是:本发明解决了小型CVD真空管式炉制备纳米材料面积小,生长不均匀的问题。
公开/授权文献
- CN110144568A 一种用于制备纳米材料的气相反应炉 公开/授权日:2019-08-20
IPC分类: