公开了覆板及其使用方法。覆板的主体可用于在具有不均匀形貌的基板上形成自适应平坦化层。覆板的主体可具有非常适合于实现共形和平坦化行为二者的弯曲特性。主体可以具有表面和在t1到t2范围内的厚度，t1＝(Pd4/2Eh)1/3，t2＝(5Pd4/2Eh)1/3；P是对应于主体和平坦化前体材料之间的毛细力的压力；d是弯曲距离；E是主体的杨氏模量；并且h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差。在一个实施例中，厚度可以被选择和用于确定共形行为的最大面外位移wmax足够并且平坦化行为的wmax低于预定阈值。