Invention Grant
- Patent Title: 一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统
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Application No.: CN201910305899.0Application Date: 2019-04-16
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Publication No.: CN110176366BPublication Date: 2021-07-02
- Inventor: 孔飞 , 章程 , 邵涛 , 任成燕 , 叶成园
- Applicant: 中国科学院电工研究所
- Applicant Address: 北京市海淀区中关村北二条6号
- Assignee: 中国科学院电工研究所
- Current Assignee: 中国科学院电工研究所
- Current Assignee Address: 北京市海淀区中关村北二条6号
- Agency: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- Agent 李亚南
- Main IPC: H01G13/00
- IPC: H01G13/00 ; H05H1/24
Abstract:
本发明公开了一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统，包括壳体和等离子体处理装置，该等离子体处理装置有两个等离子体处理单元，且两个等离子体处理单元的等离子发生层方向相反。电机带动电容器薄膜材料依次通过两个等离子体处理单元的等离子体发生层进行处理。本发明在实现处理电容器薄膜双面的同时，并不影响材料本体的电学及机械性能，而且具有设备简单、操作容易、节能环保、处理时间短、面积大且效率高等优点，适合于工业大规模生产应用。
Public/Granted literature
- CN110176366A 一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统 Public/Granted day:2019-08-27
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