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公开(公告)号：CN110176366B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201910305899.0
申请日：2019-04-16
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统，包括壳体和等离子体处理装置，该等离子体处理装置有两个等离子体处理单元，且两个等离子体处理单元的等离子发生层方向相反。电机带动电容器薄膜材料依次通过两个等离子体处理单元的等离子体发生层进行处理。本发明在实现处理电容器薄膜双面的同时，并不影响材料本体的电学及机械性能，而且具有设备简单、操作容易、节能环保、处理时间短、面积大且效率高等优点，适合于工业大规模生产应用。
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公开(公告)号：CN108998777A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810768361.9
申请日：2018-07-13
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/505
摘要： 本发明公开了一种放电等离子体沉积复合薄膜抑制金属微粒启举的方法，该方法包括：步骤1、搭建复合薄膜沉积系统；步骤2、对沉积样品的表面进行预处理；步骤3、在处理完成的样品表面沉积半导体薄膜；步骤4、对步骤3中的半导体薄膜进行处理，消除残余应力；步骤5、在处理完成的半导体薄膜上沉积绝缘薄膜；步骤6、对步骤5中的绝缘薄膜进行处理，消除残余应力。
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公开(公告)号：CN108611623A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810691590.5
申请日：2018-06-28
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： C23C16/513 , C23C16/455 , C23C16/34 , C23C16/02
摘要： 本发明涉及一种抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置及方法，属于等离子体技术领域。所述喷涂镀膜方法包括：将待处理试样清洗并干燥；搭建抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置；进行大气压等离子体炬喷涂镀膜实验；进行二次电子产额测试和材料表面物理形貌观测。本发明利用大气压等离子体喷枪产生的等离子体炬，使反应前驱物反应并生成含Ti基团和N基团，在介质表面沉积形成致密均匀的TiN薄膜，具体的，使载气中的前驱物发生分解及聚合反应，在介质表面产生聚合、接枝、交联等作用，使沉积的薄膜形成“微陷阱”结构，降低表面粗糙度，抑制固体介质二次电子产额，提高介质表面绝缘性能。
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公开(公告)号：CN112951527B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202110144983.6
申请日：2021-02-02
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种固体绝缘表面裂纹修复方法及其修复装置,其中，一种固体绝缘表面裂纹修复方法，包括：根据固体绝缘部件的类型，选用与等离子体反应后生成介电常数或电阻率为固体绝缘部件±50％的物质的介质溶液作为前驱物，利用微波等离子体射流使含前驱物的等离子体对固体绝缘部件的表面缺陷进行喷涂即可。该方法可以有效提高固体绝缘与介质之间的结合力，进而实现具有表面缺陷的固体绝缘部件的有效修复。
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公开(公告)号：CN113231273B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202110402703.7
申请日：2021-04-14
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种大气压低温等离子体沉积功能性涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)样品准备：选取橡胶材料，对所述橡胶材料进行预处理，制得样品；(2)搭建大气压等离子体射流沉积薄膜装置；(3)大气压等离子体射流沉积薄膜实验。该方法在大气压环境下进行，以含极性基团的化合物为反应前驱物，Ar为载气，在低温等离子体的作用下，前驱物在目标材料表面发生化学反应，在材料表面快速喷涂沉积生成含极性基团的功能性涂层。本发明可简单、快速的在橡胶材料表面沉积功能性涂层，并不影响材料本体的机械性能，具备成本低廉、装置简便、灵活高效等优点，适合投入大规模工业生产应用。
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公开(公告)号：CN113231273A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110402703.7
申请日：2021-04-14
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种大气压低温等离子体沉积功能性涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)样品准备：选取橡胶材料，对所述橡胶材料进行预处理，制得样品；(2)搭建大气压等离子体射流沉积薄膜装置；(3)大气压等离子体射流沉积薄膜实验。该方法在大气压环境下进行，以含极性基团的化合物为反应前驱物，Ar为载气，在低温等离子体的作用下，前驱物在目标材料表面发生化学反应，在材料表面快速喷涂沉积生成含极性基团的功能性涂层。本发明可简单、快速的在橡胶材料表面沉积功能性涂层，并不影响材料本体的机械性能，具备成本低廉、装置简便、灵活高效等优点，适合投入大规模工业生产应用。
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公开(公告)号：CN110346677B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201910637735.8
申请日：2019-07-15
申请人： 国网北京市电力公司 , 国家电网有限公司 , 中国科学院电工研究所
摘要： 本申请公开了一种电缆老化过程中状态的确定方法和装置及老化装置。该方法包括：在老化过程中的预定时间点，获取电缆老化过程中的电缆绝缘层中的泄露电流，其中，泄露电流是通过插入到电缆绝缘层中的电极探测得到的，电极通过电缆绝缘层预先打好的孔插入电缆绝缘层，电极和电缆的金属屏蔽层以及电缆的外导电层不接触；根据泄露电流确定电缆绝缘层在预定时间点的状态。通过本申请，解决了相关技术中状态监测方法不能真实反映实际工况下电缆绝缘的老化状态，以及不能真实地反映电缆老化过程中电缆绝缘的整体老化状态的技术问题。
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公开(公告)号：CN108896608B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201810785037.8
申请日：2018-07-17
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种固体绝缘材料热刺激电流检测装置，该装置包括：高压电极包括端盖和支座，在端盖和支座之间设有电极加热片，地电极与高压电极结构相同，且地电极对称设于高压电极的正下方；电极冷却室设有两个，电极冷却室一侧设有液氮进口，一端设有出气孔，且高压电极的支座和地电极的支座分别与两个电极冷却室连接；电极固定架包括四根绝缘螺柱和两个绝缘固定件，四根绝缘螺柱均匀布置在电极冷却室的周围，四根绝缘螺柱通过螺母与两个绝缘固定件连接；集成接口面板设于电极固定架的外部；屏蔽桶为设有顶盖的封闭腔体，整个测量装置置于屏蔽桶内部。
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公开(公告)号：CN108896608A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810785037.8
申请日：2018-07-17
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种固体绝缘材料热刺激电流检测装置，该装置包括：高压电极包括端盖和支座，在端盖和支座之间设有电极加热片，地电极与高压电极结构相同，且地电极对称设于高压电极的正下方；电极冷却室设有两个，电极冷却室一侧设有液氮进口，一端设有出气孔，且高压电极的支座和地电极的支座分别与两个电极冷却室连接；电极固定架包括四根绝缘螺柱和两个绝缘固定件，四根绝缘螺柱均匀布置在电极冷却室的周围，四根绝缘螺柱通过螺母与两个绝缘固定件连接；集成接口面板设于电极固定架的外部；屏蔽桶为设有顶盖的封闭腔体，整个测量装置置于屏蔽桶内部。
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公开(公告)号：CN111487453B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202010317872.6
申请日：2020-04-21
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明公开了一种高压电气信号真空馈通装置，包括：第一真空法兰、绝缘套管、馈通连接器及高压电气信号线，馈通连接器部分套接在所述第一真空法兰一端；高压电气信号线依次贯穿所述馈通连接器的金属电极、第一真空法兰、绝缘套管，并延伸至绝缘套管外部。通过实施本发明，将多个高压电气信号集成在一个真空法兰上，通过绝缘介质将电气信号和真空腔体之间进行整体绝缘，避免每个高电压电气信号和真空腔体之间进行单独绝缘处理，简单、经济、稳定的实现将高压电气信号引入真空腔体的电气馈通需求。
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