一种干式双涡旋真空泵
摘要:
本发明涉及一种真空获得设备,具体公开了一种干式双涡旋真空泵。该干式双涡旋真空泵,其特征在于:包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖,所述的驱动组件包括输出轴,所述的输出轴上偏心设置有动盘;所述动盘面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿;所述上盖的下端设有定盘,所述的定盘上设有与第一涡旋齿一一对应的第二涡旋齿,所述的第一涡旋齿和第二涡旋齿啮合形成压缩腔;所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口和出气口。以上所述的干式双涡旋真空泵,抽气性能、整机密封和耐热性具有显著提升,设计高度集成、高效节能、简洁紧凑。
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