本发明涉及一种甲基氯硅烷单体湿法除尘的节能装置及工艺。液相氯甲烷经氯甲烷汽化器汽化后进入氯甲烷过热器，和/或经洗涤塔一级冷凝器A汽化后进入氯甲烷过热器后。洗涤塔顶部物料进入洗涤塔一级冷凝器A管程，和/或进入洗涤塔一级冷凝器B壳程，经冷凝后的液相物料进入洗涤塔回流罐用作洗涤塔回流和粗单体塔进料，未冷凝的气相物料进入洗涤塔二级冷凝器。本发明充分利用洗涤塔塔顶物料携带的热量，将其用于汽化液相氯甲烷，同时对洗涤塔塔顶物料进行冷凝。采用本发明提供的装置及工艺，既可节省大量汽化氯甲烷所需的饱和蒸汽，又可降低洗涤塔一级冷凝器B的循环水用量，节能效果十分显著。同时，可有效避免洗涤塔一级冷凝器A穿孔后物料泄露污染循环冷却水系统，减小企业经济损失。