- 专利标题： 能够控制pH以及氧化还原电位的稀释药液的制造装置
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申请号： CN201780084661.9申请日： 2017-09-12
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公开(公告)号： CN110225889B公开(公告)日： 2023-05-02
- 发明人: 藤村侑 , 颜畅子
- 申请人： 栗田工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 栗田工业株式会社
- 当前专利权人： 栗田工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 李慧慧; 向勇
- 国际申请： PCT/JP2017/032790 2017.09.12
- 国际公布： WO2018/179492 JA 2018.10.04
- 进入国家日期： 2019-07-25
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304
摘要：
稀释药液的制造装置具有以下构成：在超纯水(W)的供给线(1)上依次具备铂族金属负载树脂柱(2)、膜式脱气装置(3)、和气体溶解膜装置(4)，在铂族金属负载树脂柱(2)与膜式脱气装置(3)之间设有pH调节剂注入装置(5A)和氧化还原电位调节剂注入装置(5B)。膜式脱气装置(3)的气相侧与非活性气体源(6)连接，并且气体溶解膜装置4的气相侧也与非活性气体源(7)连接，气体溶解膜装置(4)与排出线(8)连通。在该排出线(8)上设有pH计(10A)和ORP计(10B)。根据该稀释药液的制造装置，能够控制pH以及氧化还原电位。
公开/授权文献
- CN110225889A 能够控制pH以及氧化还原电位的稀释药液的制造装置 公开/授权日：2019-09-10
IPC分类:
