本发明公开了一种干涉显微镜自动对焦装置及方法，照明单元发出准直光束，准直光束经照明分光镜反射后形成照明光束，照明光束通过显微物镜后一部分被干涉分光镜反射形成参考光束，另外一部分透射经过干涉分光镜形成测试光束；参考光束依次被参考镜、干涉分光镜反射，之后依次透射经过显微物镜、照明分光镜、管镜，在相机上形成参考光斑；测试光束照射在样品上后被反射，依次透射经过干涉分光镜、显微物镜、照明分光镜、管镜，在相机上形成测试光斑。本发明用以解决现有技术中干涉显微镜的对焦方法存在的耗时久、体积大和可靠性不足的问题，实现不增大干涉显微镜仪器体积，能够快速可靠的自动对焦，且对焦过程操作简便、自动化程度高的目的。