本发明公开了一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法，按照物质量比1∶1，将碳酸钡和氧化锡粉末球磨混合，其中碳酸钡和/或氧化锡的粒径为纳米级；将第一步碳酸钡和氧化锡混合粉末在800～900℃大气气氛中预烧结3～4h；将第二步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物球磨；将第三步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末压片；将第四步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片在900～1000℃大气气氛中保温烧结20～24h，自然冷却，得锡酸钡陶瓷靶材成品。一方面缩短了锡酸钡靶材固相反应烧结时间，另一方面降低了锡酸钡靶材的固相反应烧结温度，从而有效降低了锡酸钡靶材固相反应烧结过程中的能耗，符合节能环保要求。