用于连结材料的方法、板轴装置和以此形成的多层板
摘要:
本发明涉及一种用于连结第一陶瓷件和第二陶瓷件的方法,所述方法包括:在两个陶瓷件之间钎焊连续的连结材料的层。连结材料的变湿和流动可以通过选择连结材料、连结温度、温度下的时间和连结气氛及其它因素而被控制。陶瓷件可以是氮化铝,并且陶瓷件可以在受控的气氛下用铝合金钎焊。连结部材料可以适于随后既耐得住在衬底处理期间在处理室内的环境,又耐得住含氧气氛,所述含氧气氛可以在加热器的或静电卡盘的轴内看到。
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