pH、氧化还原电位调节水的制造装置
摘要:
本发明的pH、氧化还原电位调节水的制造装置,在超纯水(W)的供给线(1)上设有铂族金属负载树脂柱(2),在此后段具备pH调节剂注入装置(3A)和氧化还原电位调节剂注入装置(3B)。在此装置(3A、3B)的后段依次具有膜式脱气装置(4)和气体溶解膜装置(5),在气体溶解膜装置(5)连通有排出线(8)。排出线(8)的途中,设有pH计(10A)和ORP计(10B),这些pH计(10A)和ORP计(10B),与控制装置(11)连接。另外,基于pH计(10A)和ORP计(10B)的测量结果,来控制pH调节剂注入装置(3A)和氧化还原电位调节剂注入装置(3B)的注入量。根据该pH、氧化还原电位调节水的制造装置,能准确地调节pH和氧化还原电位。
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