发明公开
- 专利标题： 一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺
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申请号： CN201910651653.9申请日： 2019-07-18
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公开(公告)号： CN110302630A公开(公告)日： 2019-10-08
- 发明人: 赵霖 , 乐昀 , 于洋 , 金万宇 , 刘智超 , 郑晨达 , 郭奎宇 , 邱浩明 , 王鹏 , 邱长春
- 申请人： 大连中鼎化学有限公司
- 申请人地址： 辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号
- 专利权人： 大连中鼎化学有限公司
- 当前专利权人： 大连中鼎化学有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号
- 代理机构： 大连智高专利事务所
- 代理商 胡景波
- 主分类号： B01D53/02
- IPC分类号： B01D53/02 ; B01D46/00
摘要：
本发明属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本发明工艺深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。
IPC分类:
