从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法

    公开(公告)号:CN106145037B

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201510153117.8

    申请日:2015-04-01

    IPC分类号: C01B3/52 C01B3/56

    摘要: 本发明提供了种从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法,采用次水洗、化学吸附深度脱氯、氢气压缩机增压、PSA气体分离系统、催化脱氧、水冷却、终端净化、回流氢气控制前端管道压力、再生气返回前端净化回收及防爆措施的技术路线。将氢气中残余的微量杂质脱除到99.99999%以下得到高纯氢气;该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9%~99.99999%,回收率可高达95%。残存杂质中的氯气、氧气、硅烷等可分别低至1×10,并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从硅外延生产过程中的放空废气中分离和回收氢气,具有十分良好的经济效益、环保效益。

    从煤制气中提纯氢气制备高纯及超高纯氢气的工艺方法

    公开(公告)号:CN107434242A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710568915.6

    申请日:2017-07-13

    IPC分类号: C01B3/56

    摘要: 本发明涉及从煤制气中提纯氢气制备高纯及超高纯氢气的工艺方法,属于煤化工制合成气的化工领域。主要技术方案如下:包括依次进行的过滤与吸附两个步骤;所述的过滤通过过滤装置将煤制气中的固体颗粒、油、水进行脱除;所述的吸附通过吸附装置深度脱除煤制气中包括O2、H2O、CO2、CH4、N2、CO的杂质;本发明提供的纯化煤制气的工艺方法,纯化效率高,装置成本低、纯化条件简单、可进行大规模的纯化生产过程,变压吸附工序采用6塔纯化流程,其中1台作为反应器工作(吸收杂质),另4台反应器则分别进行均压,剩余1台进行低压解吸,这样6台反应器交替工作和再生,从而可实现对原料气的连续分离和净化。

    一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法

    公开(公告)号:CN118150439A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410574688.8

    申请日:2024-05-10

    摘要: 本发明公开了一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法,属于化学或物理分析领域,本发明获取定量反应物在适应反应条件下进行反应作为对照反应组,同时获取等量反应物在适应反应条件和催化吸附材料的共同作用下进行反应,获取反应生成物的量变化曲线,将获取的反应生成物的量变化曲线导入催化效果评价策略中进行催化效果评价值的计算,将获取的反应生成物的量变化曲线导入吸附效果评价策略中进行吸附效果评价值的计算,将计算得到的催化效果评价值和吸附效果评价值导入材料评价值计算策略中进行材料评价值的计算,根据材料评价值的计算结果,进行催化吸附材料优次品的判断,通过材料的催化吸附效果对材料性能进行综合评价。

    一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法

    公开(公告)号:CN109437234B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN201811361799.1

    申请日:2018-11-15

    摘要: 本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术,将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用,具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收,并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程,大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高,回收液氨、氮气和氢气纯度高,纯化深度好,回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。

    一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法

    公开(公告)号:CN111389169A

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN202010124823.0

    申请日:2020-02-27

    IPC分类号: B01D53/00 B01D5/00 C01C1/12

    摘要: 本发明涉及一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法,属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为:包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置,以及阀门、管道管件和控制系统;所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再沸脱气塔、液氨储存釜,在液氨储存釜内部设有次换热器,再沸脱气塔的底部与液氨储存釜连接。本发明大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高、回收的液氨纯度高、纯化深度好、回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。

    一种用于氢气、氩气和氦气纯化的方法

    公开(公告)号:CN110354633A

    公开(公告)日:2019-10-22

    申请号:CN201910651640.1

    申请日:2019-07-18

    摘要: 本发明涉及一种用于氢气、氩气和氦气纯化的方法,属于气体纯化工艺技术领域。主要技术方案如下:包括吸附步骤、吸气步骤、再生步骤,所述的吸附步骤如下:原料气经过滤自原料气入口进入脱氧吸附器A脱除包括一氧化碳、二氧化碳、氧气、水的杂质气体;所述的吸气步骤如下:经过吸附后的原料气进入吸气换热器与从吸气器出来的高温气体进行热交换,进入吸气加热器加热至纯化温度后进入吸气器,之后流出吸气器并再次进入吸气换热器与冷的原料气进行热交换。本发明方法采用从上部进入原料气,在纯化装置内部从上向下通过纯化填料的床层,下部产出产品气,以提高纯化效果。

    一种气体加热器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110345635A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201910650871.0

    申请日:2019-07-18

    IPC分类号: F24H3/08 F24H9/18

    摘要: 一种气体加热器,属于气体加热器领域。气体加热器包括加热器本体、进气管、加热器筒体、热偶套管和出气管。加热器本体包括:上部封头、换热体、流体通过孔、定位器、热源内槽和热偶内槽。气体通过进气管进入加热器本体经热源内槽内的加热源加热后由流体通过孔流入加热器筒体进行混合后从出气管流出。本发明在进气管处设有流体通过孔可对气体作初步加热,多个孔可将气体分散,提升加热效果和加热效率,加热器本体与加热器筒体之间留有的空隙,气体流出后可加大加热后的气体的流速,使气体充分混合。同时,气体在经过热器本体与加热器筒体之间留有的空隙时再次加热,提高气体的加热效率、均匀程度和速度。