真空系统排气消音方法、消音装置及真空系统
摘要:
本发明涉及一种真空系统排气消音方法、消音装置及真空系统,所述消音装置包括:第一挡板阀,安装在真空管道上,第一挡板阀的内径与真空管道的内径相同;旁通管道,旁通管道的一端与第一挡板阀一侧的真空管道连通,另一端与第一档板阀另一侧的真空管道连通,旁通管道的内径为真空管道内径0.1-0.2倍;第二挡板阀,安装在旁通管道上,第二挡板阀的内径与旁通管道的内径相同;以及串联连接的抽真空阀门继电器和断电延时型时间继电器,抽真空阀门继电器与PLC连接,时间继电器的常闭触点与第一挡板阀的控制线连接,时间继电器的常开触点与第二挡板阀的控制线连接。本发明通过切换抽气管道口径降低空气振动,能够有效减小抽真空瞬间产生的尖锐噪音。
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