一种温度图像传感器及其制备方法
摘要:
本发明实施例公开了一种温度图像传感器及其制备方法,该温度图像传感器包括:读出电路芯片、存储芯片以及包括至少一个传感像素单元的温度传感芯片;读出电路芯片包括相对的第一面和第二面;存储芯片通过第一键合层键合在读出电路芯片的第一面,温度传感芯片通过第二键合层键合在读出电路芯片的第二面,存储芯片和读出电路芯片通过第一键合层进行键合,温度传感芯片和读出电路芯片通过第二键合层进行键合,简化了温度图像传感器的制备工艺,降低了制备成本,有利于实现温度图像传感器的量产,并在保证温度图像传感器的功能的前提下,减小了温度图像传感器的面积,实现温度图像传感器的小型化。
公开/授权文献
0/0