本发明提供一种干燥效率高的真空干燥装置和方法。腔室(110)具有入口(114)和出口(115)，并具有能够收容食材(111)的处理空间。水蒸气供给管线(161)与入口(114)连接，并构成为能够向处理空间供给水蒸气。排气管线(162)与出口(115)连接，并构成为能够对处理空间进行真空排气。循环管线(163)设置在腔室(110)的外部，并使水蒸气从出口(115)回流至入口(114)。加压加热单元(130)设置在循环管线(163)，并具有将水蒸气加压至第一压力的加压部(131)和对加压至第一压力的水蒸气进行加热的加热部(132)。