一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法
摘要:
本发明属于平面度检测技术领域,具体涉及一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法,包括气动量仪、内平面测试头、外平面测试头以及设有工作台的机架,所述气动量仪固定在机架上,所述内平面测试头和外平面测试头通过三通阀与气动量仪联通;内平面测试头和外平面测试头均设置在工作台上,内平面测试头外设有第一防护罩,外平面测试头外设有第二防护罩。通过上述结构可以有效减少占地设备的占地面积,并降低了设备成本。同时,在内平面测试头和外平面测试头外分别设有相应的防护罩,可以有效起到防护和防尘作用。
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