一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法

    公开(公告)号:CN110360965A

    公开(公告)日:2019-10-22

    申请号:CN201910659701.9

    申请日:2019-07-22

    IPC分类号: G01B13/22 G01M3/28

    摘要: 本发明属于平面度检测技术领域,具体涉及一种基于气动量仪检测平面度气密性的装置及检测方法,包括气动量仪、内平面测试头、外平面测试头以及设有工作台的机架,所述气动量仪固定在机架上,所述内平面测试头和外平面测试头通过三通阀与气动量仪联通;内平面测试头和外平面测试头均设置在工作台上,内平面测试头外设有第一防护罩,外平面测试头外设有第二防护罩。通过上述结构可以有效减少占地设备的占地面积,并降低了设备成本。同时,在内平面测试头和外平面测试头外分别设有相应的防护罩,可以有效起到防护和防尘作用。

    一种滑阀座平面度气密性检测仪

    公开(公告)号:CN210004973U

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201921148583.7

    申请日:2019-07-22

    IPC分类号: G01B13/22 G01M3/02

    摘要: 本实用新型属于平面度检测装置技术领域,具体涉及一种滑阀座平面度气密性检测仪,包括气动量仪和外平面测量头,所述外平面测量头与气动量仪联通,还包括底座和挡板,所述挡板设置在底座的上表面,外平面测量头通过螺栓与底座联接,底座上设有相应的条形孔,所述条形孔纵向设置;所述底座上设有可纵向移动的限位件,外平面测量头位于挡板与限位件之间,通过挡板和限位件夹持外平面测量头。采用上述结构,在降低加工的难度的同时,可以保证外平面测量头的侧面与挡板的侧面贴合,保证直角基础面的形成;并且上述采用上述结构可以适应不同规格的外平面测量头。