发明授权
- 专利标题： 加速度传感器
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申请号： CN201910654068.4申请日： 2015-03-03
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公开(公告)号： CN110361562B公开(公告)日： 2022-06-17
- 发明人: D.梅因霍尔德
- 申请人： 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址： 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-15号
- 专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-15号
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 申屠伟进
- 优先权： 14/195214 20140303 US
- 主分类号： G01P15/08
- IPC分类号： G01P15/08 ; G01P15/12
摘要：
本发明涉及加速度传感器。公开了各种加速度传感器。在一些情形中，惯性质量可以在后端线（BEOL）期间形成。在其它情形中，薄膜可以具有弯曲、波动或蜿蜒的形状。在又其它实施例中，惯性质量可以横跨两个或更多个压力感测结构。
公开/授权文献
- CN110361562A 加速度传感器 公开/授权日：2019-10-22
IPC分类:
