阵列反射式显微图像采集系统
摘要:
本发明公开了一种阵列反射式显微图像采集系统,包括显微摄像模组阵列和接收端,所述显微摄像模组阵列位于样品台的正上方;所述显微摄像模组阵列包括成阵列分布的多个显微摄像模块,每一所述显微摄像模块皆包括第一透镜组、反射式照明结构、激发光源、第二透镜组和图像传感器,所述第一透镜组和所述第二透镜组对称设置,所述图像传感器与所述接收端电性连接,所述激发光源位于所述反射式照明结构的一侧,所述激发光源发出的光源照射于所述反射式照明结构上。本发明能够同时采集样品的多个区域,提高检测速度,适用于测试硅片、半导体显微、生物芯片、厚生物样品等不透明大面积样品的检测。
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