发明授权
- 专利标题： 一种复合托盘
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申请号： CN201910622819.4申请日： 2019-07-11
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公开(公告)号： CN110396679B公开(公告)日： 2024-07-30
- 发明人: 孙健 , 请求不公布姓名 , 周剑 , 陈晨
- 申请人： 苏州迈正科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧
- 专利权人： 苏州迈正科技有限公司
- 当前专利权人： 苏州迈正科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧
- 代理机构： 苏州创元专利商标事务所有限公司
- 代理商 郝彩华
- 主分类号： C23C16/458
- IPC分类号： C23C16/458
摘要：
本发明公开了一种复合托盘，包括支撑单元以及用于搁置所述支撑单元的基板，每个所述支撑单元上均设置有用于放置硅片的硅片放置区，所述基板和所述支撑单元由不同材料制成。本发明的复合托盘采用两种不同的材料制成，可克服复合托盘使用单一材料制成所存在的缺陷，其既能满足强度、隔热、导热等方面的性能，而且成本相对较低，利于批量使用。
公开/授权文献
- CN110396679A 一种复合托盘 公开/授权日：2019-11-01
IPC分类:
