发明授权
- 专利标题: 一种陶瓷材料激光加工装置及方法
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申请号: CN201910578135.9申请日: 2019-06-28
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公开(公告)号: CN110405366B公开(公告)日: 2021-07-13
- 发明人: 高文焱 , 王军龙 , 李本海 , 李广 , 雷名威 , 李凯 , 张路 , 侯振兴
- 申请人: 北京航天控制仪器研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北京142信箱403分箱
- 专利权人: 北京航天控制仪器研究所
- 当前专利权人: 北京航天控制仪器研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北京142信箱403分箱
- 代理机构: 中国航天科技专利中心
- 代理商 胡健男
- 主分类号: B23K26/382
- IPC分类号: B23K26/382 ; B23K26/70 ; B23K26/04
摘要:
一种陶瓷材料激光加工装置及方法,对于陶瓷材料的激光打孔,解决目前存在所加工通孔的深径比小、锥度大、孔壁易崩边等问题,实现陶瓷材料高质量打孔,满足超高频通讯电子行业对陶瓷封装基片微细加工的需求,通过陶瓷片顺时针、逆时针、摆正的顺序操作,同步有序调控激光打孔的加工倾角,使有效减小孔壁锥度。与此同时,双面加工方式有效分散热积累、减小温度梯度,减小热影响对陶瓷材料的损伤,降低孔壁崩边。尤其是在采用锥透镜聚焦的方式下,获得贝塞尔空间分布光束,即缩小激光束聚焦后的横向光斑(横向为垂直光束传播方向)、拉长激光束聚焦后的纵向光斑(纵向为平行光束传播方向),有效提高激光利用率,减小热影响。
公开/授权文献
- CN110405366A 一种陶瓷材料激光加工装置及方法 公开/授权日:2019-11-05
IPC分类: