一种陶瓷材料激光加工装置及方法
摘要:
一种陶瓷材料激光加工装置及方法,对于陶瓷材料的激光打孔,解决目前存在所加工通孔的深径比小、锥度大、孔壁易崩边等问题,实现陶瓷材料高质量打孔,满足超高频通讯电子行业对陶瓷封装基片微细加工的需求,通过陶瓷片顺时针、逆时针、摆正的顺序操作,同步有序调控激光打孔的加工倾角,使有效减小孔壁锥度。与此同时,双面加工方式有效分散热积累、减小温度梯度,减小热影响对陶瓷材料的损伤,降低孔壁崩边。尤其是在采用锥透镜聚焦的方式下,获得贝塞尔空间分布光束,即缩小激光束聚焦后的横向光斑(横向为垂直光束传播方向)、拉长激光束聚焦后的纵向光斑(纵向为平行光束传播方向),有效提高激光利用率,减小热影响。
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