Invention Grant
- Patent Title: 力量传感器以及其制造方法
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Application No.: CN201810391387.6Application Date: 2018-04-27
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Publication No.: CN110411614BPublication Date: 2021-04-20
- Inventor: 曾立天 , 钱元晧 , 郭致良 , 叶裕德
- Applicant: 苏州明皜传感科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号E0804室
- Assignee: 苏州明皜传感科技有限公司
- Current Assignee: 苏州明皜传感科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号E0804室
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 郭蔚
- Main IPC: G01L1/14
- IPC: G01L1/14 ; G01L9/12 ; B81B3/00 ; B81C1/00
Abstract:
一种力量传感器包含一第一基板、一第二基板、一第三基板以及一封装体。第一基板包含一固定电极、至少一第一导电接点以及至少一第二导电接点。第二基板设置于第一基板，并与第一基板的第一导电接点电性连接。第二基板包含一微机电系统组件，其与固定电极相对应。第三基板设置于第二基板上，且包含一凸柱，其与微机电系统组件连接。封装体则覆盖第三基板。上述力量传感器具有较佳的可靠度。
Public/Granted literature
- CN110411614A 力量传感器以及其制造方法 Public/Granted day:2019-11-05
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