半导体制造装置的组装装置和组装方法
摘要:
本发明提供一种能够缩短半导体制造装置的组装工期的技术。本发明的一个方式的半导体制造装置的组装装置是包括在下端具有开口的反应管的半导体制造装置的组装装置,其包括:主体;升降装置,其安装在上述主体,用于保持上述反应管并使其升降;对上述反应管的内部供给气体的气体供给装置;和对上述反应管的内部进行排气的排气装置。
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