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公开(公告)号：CN113533266A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110410813.8
申请日：2021-04-16
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明涉及异物检查系统、异物检查方法、程序以及半导体制造装置。提供判定附着于检查对象的异物的位置以及种类的技术。是检查附着于检查对象的异物的异物检查系统，并通过具有以下部分来解决上述课题：光源部，向上述检查对象照射激励光；检测部，检测照射上述激励光而产生的荧光的发光；判定部，根据上述荧光的发光判定附着于上述检查对象的异物的位置以及种类；以及输出部，输出上述判定部的判定结果。
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公开(公告)号：CN110482015A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910392649.5
申请日：2019-05-13
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。
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公开(公告)号：CN110416117B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201910332998.8
申请日：2019-04-24
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种能够缩短半导体制造装置的组装工期的技术。本发明的一个方式的半导体制造装置的组装装置是包括在下端具有开口的反应管的半导体制造装置的组装装置，其包括：主体；升降装置，其安装在上述主体，用于保持上述反应管并使其升降；对上述反应管的内部供给气体的气体供给装置；和对上述反应管的内部进行排气的排气装置。
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公开(公告)号：CN110482015B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201910392649.5
申请日：2019-05-13
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。本发明的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。
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公开(公告)号：CN110416117A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910332998.8
申请日：2019-04-24
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种能够缩短半导体制造装置的组装工期的技术。本发明的一个方式的半导体制造装置的组装装置是包括在下端具有开口的反应管的半导体制造装置的组装装置，其包括：主体；升降装置，其安装在上述主体，用于保持上述反应管并使其升降；对上述反应管的内部供给气体的气体供给装置；和对上述反应管的内部进行排气的排气装置。
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公开(公告)号：CN306104780S
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202030081986.6
申请日：2020-03-12
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 1.本外观设计产品的名称：搬运台车。
2.本外观设计产品的用途：如使用状态参考图所示，本物品用于在工厂内搬运晶片制造装置。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。-
公开(公告)号：CN306025829S
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202030083476.2
申请日：2020-03-13
申请人： 东京毅力科创株式会社
摘要： 1.本外观设计产品的名称：搬运台车。
2.本外观设计产品的用途：本物品用于在工厂内搬运晶片制造装置。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 -
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