- 专利标题: 一种非极性面氮化物量子阱红外探测器及其制备方法
- 专利标题(英): Non-polar surface nitride quantum well infrared detector and preparation method thereof
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申请号: CN201910724212.7申请日: 2019-08-07
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公开(公告)号: CN110429146A公开(公告)日: 2019-11-08
- 发明人: 荣新 , 王新强 , 沈波 , 陈宇翔 , 朱尧峥 , 刘放
- 申请人: 北京大学
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 专利权人: 北京大学
- 当前专利权人: 北京大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理有限公司
- 代理商 王岩
- 主分类号: H01L31/0304
- IPC分类号: H01L31/0304 ; H01L31/0352 ; H01L31/101 ; H01L31/18 ; G01J5/28 ; G01J5/30
摘要:
本发明公开了一种非极性面氮化物量子阱红外探测器及其制备方法。本发明针对当前常见的c面氮化物QWIP存在极化电场的问题,提出采用非极性面氮化物多量子阱结构制备红外探测器,该结构不存在极化电场,易于载流子纵向输运;非极性面氮化物多量子阱为生长面应力补偿结构,有效缓解了非极性面生长的应力弛豫各向异性,提高制备非极性面氮化物材料的晶体质量;匹配电路中包括惠斯通电桥,根据红外光敏元件的电阻的大小设置相应的匹配电阻的大小,没有红外光照时电压截止元件处于非导通状态,通过电压截止元件抑制背景噪声,提高器件信噪比;采用第三代氮化物半导体材料制备,具有室温工作、紫外集成、红外光谱范围广等优势。
公开/授权文献
- CN110429146B 一种非极性面氮化物量子阱红外探测器及其制备方法 公开/授权日:2020-11-03
IPC分类: