一种非极性面氮化物量子阱红外探测器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种非极性面氮化物量子阱红外探测器及其制备方法。本发明针对当前常见的c面氮化物QWIP存在极化电场的问题,提出采用非极性面氮化物多量子阱结构制备红外探测器,该结构不存在极化电场,易于载流子纵向输运;非极性面氮化物多量子阱为生长面应力补偿结构,有效缓解了非极性面生长的应力弛豫各向异性,提高制备非极性面氮化物材料的晶体质量;匹配电路中包括惠斯通电桥,根据红外光敏元件的电阻的大小设置相应的匹配电阻的大小,没有红外光照时电压截止元件处于非导通状态,通过电压截止元件抑制背景噪声,提高器件信噪比;采用第三代氮化物半导体材料制备,具有室温工作、紫外集成、红外光谱范围广等优势。
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