发明公开
- 专利标题: 一种全四族硅基C波段半导体激光器
- 专利标题(英): Full-quaternary silicon-based C-band semiconductor laser
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申请号: CN201910704486.X申请日: 2019-07-31
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公开(公告)号: CN110429474A公开(公告)日: 2019-11-08
- 发明人: 李鸿强 , 王嘉宁 , 谢睿 , 杜吉林 , 王润洁 , 宫正
- 申请人: 天津工业大学
- 申请人地址: 天津市西青区宾水西道399号
- 专利权人: 天津工业大学
- 当前专利权人: 天津工业大学
- 当前专利权人地址: 天津市西青区宾水西道399号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 杜文茹
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/22 ; H01S5/042
摘要:
一种全四族硅基C波段半导体激光器,包括有硅衬底,所述硅衬底上并排设置有构成外接负电源引入端口的侧边负电极和N型掺杂硅体材料区,所述N型掺杂硅体材料区上设置有三层Ge/Si量子阱,所述三层Ge/Si量子阱上设置有脊型波导结构,所述脊型波导结构上面设置有相连接的构成外接正电源引入端口的上边正电极。本发明的一种全四族硅基C波段半导体激光器,解决了目前在硅基光电子集成领域光源与硅基CMOS工艺不兼容的问题。由全四族元素构成的半导体激光器光源能够实现在硅片上直接生长光源,免去了传统键合光源步骤,可以降低光电子集成的制作难度和成本。本发明的全四族硅基C波段半导体激光器能在室温下进行工作。
公开/授权文献
- CN110429474B 一种全四族硅基C波段半导体激光器 公开/授权日:2021-05-14