一种单晶金刚石圆锥压头轴线方向及研磨角度选择方法
摘要:
一种单晶金刚石圆锥压头轴线方向及研磨角度选择方法,属于高精度纳米压痕压头制造技术领域。根据典型晶面微观抗剪切强度确定其易磨度因子,通过加权叠加计算得到一般晶面晶向的易磨度因子;基于坐标变换方法计算某一般晶面晶向的易磨度因子;对锥面一圈沿不同研磨方向的易磨度因子进行计算;对特定半锥角、以不同晶向为轴线的单晶金刚石圆锥压头,计算沿不同研磨方向的锥面的易磨度因子标准差以选择轴线方向;对特定轴线为方向、特定半锥角单晶金刚石圆锥压头,计算锥面沿不同研磨方向的易磨度因子标准差以选择压头的研磨角度。通过优选能够明显减弱单晶金刚石晶体各向异性特征对压头研磨精度的不利影响。
0/0