一种叠层磁性薄膜及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种叠层磁性薄膜,包括2n层磁芯结构,n为正整数,且n≥1,所述2n层磁芯结构包括交替设置的Ni‑Co磁芯层和Ni‑Fe‑W磁芯层。本发明通过依次连续设置的软磁Ni‑Fe‑W合金和Ni‑Co合金,来提高磁芯薄膜磁性能,从而获得高磁性且损耗不会过大的叠层磁性薄膜,以便有效提升电感元件的电感值,保证较高的品质因子和磁芯薄膜稳定性。该制备工艺简单、可靠性强、生产成本低,有利于产业化发展。此外,本发明还涉及一种叠层磁性薄膜的制备方法。
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