一种制备大面积硒化锑薄膜的设备及其方法和应用
摘要:
本发明提供了一种制备大面积硒化锑薄膜的设备及其方法和应用,所述设备是在沉积设备的沉积室内水平固定有圆筒,所述圆筒的一侧与氩气供气管相连通,圆筒的另一侧开有水平方向延伸的长条孔,在圆筒内同轴设有用于盛装硒化锑颗粒的圆筒形的网漏,所述网漏的一端连有转轴并可在圆筒内旋转;在与所述长条孔相对的位置设有样品台,所述样品台与升降杆相连并可随升降杆匀速上下移动,在样品台与长条孔相对的台面上设有衬底,在样品台与圆筒之间设有挡板。本发明通过调控衬底上下运动次数、衬底与源的温度以及通入高纯氩气的气体流量,制备得到了结晶状态和成膜均匀性好,缺陷密度较小的大面积硒化锑薄膜,其设备及工艺简单,有利于推广与应用。
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