ZnMgGaO紫外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111785795B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202010800925.X

    申请日:2020-08-11

    摘要: 本发明提供一种ZnMgGaO紫外探测器及其制备方法,其中的方法包括:S1、以有机锌化合物作为锌源,以有机镁化合物作为镁源,有机镓化合物作为镓源,以高纯氧气为氧源,利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底的表面生长ZnMgGaO薄膜;S2、在ZnMgGaO薄膜上使用负胶光刻形成叉指电极掩膜,溅射金属后将叉指电极掩膜去除,形成叉指电极;S3、在叉指电极上按压In粒,得到MSM结构的ZnMgGaO紫外探测器。与现有技术相比,本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnMgGaO薄膜,通过增加氧气流量、增加氧分压、减少氧缺陷的方式,使得制备的ZnMgGaO薄膜具有结晶质量高、不出现分相、吸收截止边陡峭等特点,进而使包含ZnMgGaO薄膜的紫外探测器具有较低的暗电流和较快的光响应速度。

    一种蓝光探测器及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114744061B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202210316539.2

    申请日:2022-03-29

    摘要: 本发明公开了一种蓝光探测器及其制备方法和应用,该蓝光探测器包括依次层叠设置GaS薄膜层、InGaN薄膜层及衬底,所述InGaN薄膜层上部分覆盖GaS薄膜层;所述InGaN薄膜层上未覆盖GaS薄膜层的区域设有第一电极;所述GaS薄膜层上设有第二电极。所述GaS薄膜层为p型,所述InGaN薄膜层为n型,所述GaS薄膜层与所述InGaN薄膜层之间形成PN结。本发明中的蓝光探测器中,GaS薄膜层表面无悬挂键,InGaN薄膜层与GaS薄膜层之间具有良好的接触界面,可以降低暗电流,提高器件的比探测率,同时提高响应速度。

    一种氧化锡氧化镉超晶格日盲四象限探测器

    公开(公告)号:CN116581183B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202310847107.9

    申请日:2023-07-12

    摘要: 本发明属于紫外光电探测技术领域,具体涉及一种氧化锡氧化镉超晶格日盲四象限探测器,原点位于探测器中心位置,感光区域位于由x轴和y轴划分的四象限区域呈中心对称分布,且被阻隔沟道隔开,四个光电探测器对应的四组金电极与外部电极相连接。感光区域采用金属金为电极的金属‑半导体‑金属结构叉指电极,金属‑半导体‑金属结构中为制备的氧化锡氧化镉超晶格材料。本发明利用人工设计纳米级结构单元的周期性超晶格结构,完成了材料的尺寸长度小于电子的玻尔半径,实现了电子的量子尺寸效应,一方面实现了电子在紫外波段的能级跃迁方式,另一方面促进了探测器的光电探测效率。

    一种宽光谱高吸收率光吸收层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116190473A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202310213231.X

    申请日:2023-03-06

    申请人: 湖北大学

    摘要: 本发明提供了一种宽光谱高吸收率光吸收层及其制备方法和应用。本发明的半导体量子点光吸收层、铁电纳米粒子层和铜铟镓硒光吸收层耦合形成光吸收层,在增强光生载流子分离和传输的同时,实现宽光谱吸收,以提高对太阳光的吸收与利用;改变半导体量子点光吸收层的尺寸可对其光学带隙进行调控,从而将半导体量子点光吸收层的吸光范围调节至近红外区域;铁电纳米粒子层在外加电场作用下内部电偶极子会发生定向排列,撤去电场后,铁电材料内部仍然会存在一个退极化电场,该退极化电场可增强光生激子分离。本发明的光吸收层可以实现对不同波长的太阳能进行互补吸收,同时可以增大器件内部的总电场,促进光生载流子的分离和传输,从而实现电池光电转换效率的提升。