一种高性能DFB激光器外延结构及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种高性能DFB激光器外延结构,包括InP衬底,所述InP衬底上从下至上依次沉积有N-InP缓冲层,N-AlInAs限制层、非掺杂AlGaInAs下波导层、非掺杂AlGaInAs量子阱、非掺杂AlGaInAs上波导层、非掺杂P型掺杂的AlInAs限制层、非掺杂P-InP过渡层、非掺杂InGaAsP光栅层、非掺杂InP联接层、非掺杂第一InGaAsP势垒渐变层、非掺杂第二InGaAsP势垒过渡层及非掺杂InGaAs欧姆接触层,所述非掺杂P-InP过渡层中插入有张应变的第一非掺杂InGaAsP异质结超晶格层和压应变的第二非掺杂InGaAsP异质结超晶格层。该DFB激光器外延结构采用后扩散工艺形成激光器P型外延层,严格定义载流子注入区,获得的DFB激光器阈值和串联电阻低,调制速率大,温度特性好,可靠性好。
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