Invention Publication
- Patent Title: 一种高性能DFB激光器外延结构及其制造方法
- Patent Title (English): Epitaxial structure for high-performance DFB laser and manufacturing method of epitaxial structure
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Application No.: CN201910873700.4Application Date: 2019-09-17
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Publication No.: CN110474232APublication Date: 2019-11-19
- Inventor: 单智发 , 张永 , 姜伟 , 陈阳华
- Applicant: 全磊光电股份有限公司
- Applicant Address: 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区同龙二路567号1-3层
- Assignee: 全磊光电股份有限公司
- Current Assignee: 全磊光电股份有限公司
- Current Assignee Address: 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区同龙二路567号1-3层
- Agency: 苏州翔远专利代理事务所
- Agent 刘计成
- Main IPC: H01S5/12
- IPC: H01S5/12 ; H01S5/22 ; H01S5/343

Abstract:
本发明提供一种高性能DFB激光器外延结构,包括InP衬底,所述InP衬底上从下至上依次沉积有N-InP缓冲层,N-AlInAs限制层、非掺杂AlGaInAs下波导层、非掺杂AlGaInAs量子阱、非掺杂AlGaInAs上波导层、非掺杂P型掺杂的AlInAs限制层、非掺杂P-InP过渡层、非掺杂InGaAsP光栅层、非掺杂InP联接层、非掺杂第一InGaAsP势垒渐变层、非掺杂第二InGaAsP势垒过渡层及非掺杂InGaAs欧姆接触层,所述非掺杂P-InP过渡层中插入有张应变的第一非掺杂InGaAsP异质结超晶格层和压应变的第二非掺杂InGaAsP异质结超晶格层。该DFB激光器外延结构采用后扩散工艺形成激光器P型外延层,严格定义载流子注入区,获得的DFB激光器阈值和串联电阻低,调制速率大,温度特性好,可靠性好。
Public/Granted literature
- CN110474232B 一种高性能DFB激光器外延结构及其制造方法 Public/Granted day:2023-09-22
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